特色

1. 可量測厚度範圍10nm-400um。
2. 解析度至0.1nm。
3. 可量測薄膜材質、透明、半透明及極薄金屬膜。
4. 依據材質不同，可做穿透式量測多層組織。
5. 超小光點可量測特定點厚度。
   
6. 多通道機形，最多可量八個點厚度。
7. 特製探頭，可量測屈面形狀。