MikroScan 3D表面量儀

特色：

MikroScan為白光干涉的光學量測儀器，利用非接觸式的量測，可準確量測其待測物體的3D表面形貌，準確度可達到奈米等級，適合於光電、電子、模具等產業之相關應用。

優點：

1. 高速掃描，每秒最快可達30μm。
2. 重複精度達0.5μm以下。
3. 簡單化操作軟體，讓使用者輕鬆量測。
4. 全自動化控制，可依照設定完成多點量測。
5. 外掛式攝影機方便找尋量測點。
6. 強大的2D、3D分析軟體，滿足使用者量測分析需求，具有樣本套用、圖形拼接模式等強大功能。

■ 晶圓線路

■ CF面板

■ 矽晶圓雷射孔

■ LED

■ 陶瓷基版

■ 雷射溝槽

應用範圍：