MikroScan 3D表面量仪

特色：

MikroScan为白光干涉的光学量测仪器，利用非接触式的量测，可准确量测其待测物体的3D表面形貌，准确度可达到奈米等级，适合于光电、电子、模具等产业之相关应用。

优点：

1. 高速扫描，每秒最快可达30μm。
2. 重复精度达0.5μm以下。
3. 简单化操作软体，让使用者轻松量测。
4. 全自动化控制，可依照设定完成多点量测。
5. 外挂式摄影机方便找寻量测点。
6. 强大的2D、3D分析软体，满足使用者量测分析需求，具有样本套用、图形拼接模式等强大功能。

■ 晶圆线路

■ CF面板

■ 矽晶圆雷射孔

■ LED

■ 陶瓷基版

■ 雷射沟槽

应用范围：